お知らせ
2025.04.25 (Fri) 13:02
圧電MEMS研究会 2025年6月3日 (火) ＠神戸
圧電MEMSに関する講演会のお知らせ
https://www.research.kobe-u.ac.jp/eng-dynamics/piezomems/meeting/31st.html
日時： 2025年6月3日 (火) 13:30～16:45
場所：神戸三宮センタープラザ9階 KOBE Co CREATION CENTER Room A，B
神戸市中央区三宮町1丁目9番1号センタープラザ9階
（＊オンライン併用）
13:30-14:30 スパッタ法による Nb-PZT 薄膜開発の経緯：成膜の原理と装置の基礎から考える
上記の演題でお話させていただきます。
古くは大学時代の開発から、KRI社、富士フイルムでの開発のときのコンセプト、考え方を含めてお話をさせていただきます。
若い研究者から圧電材料の専門家まで聞いていただけると思います。