技術論文/特許/講演会 等

論文

2009年以降を記載

T.Fujii, Y.Hishinuma, T.Mita, T.Arakawa:” Preparation of Nb doped PZT film by RF sputtering“, Solid State Communications, Volume 149, Issues 41–42, November 2009, Pages 1799–1802.

T.Fujii, Y.Hishinuma, T.Mita, T.Naono:” Characterization of Nb-doped Pb (Zr, Ti) O 3 films deposited on stainless steel and silicon substrates by RF-magnetron sputtering for MEMS applications”, Sensors and Actuators A: Physical, Volume 163, Issue 1, September 2010, Pages 220–225.

Y. Hishinuma, Y. Li, J. Birkmeyer, T. Fujii, T. Naono, T. Arakawa:” High Performance Sputtered PZT Film for MEMS applications”, Nanotech 2012 Vol. 2 878.

藤井隆満、直野崇幸、向山明博、新川高見、菱沼慶一、ユーミン リ、ジェフリー バークマイヤ:「高圧電定数NbドープPZT薄膜の形成とそのMEMS応用」、FUJIFILM RESEARCH & DEVELOPMENT (No.59-2014)

T.Naono, T.Fujii, M.Esashi and S.Tanaka:”A large-scan-angle piezoelectric MEMS optical scanner actuated by a Nb-doped PZT thin film” Journal of Micromechanics and Microengineering, Volume 24, 1-12

T.Naono, T.Fujii, M.Esashi and S.Tanaka:” Non-resonant 2-D piezoelectric MEMS optical scanner actuated by Nb doped PZT thin film” Sensors and Actuators A: Physical Volume 233, 1 September 2015, Pages 147–157

Y.Hishinuma, T.Fujii,  T.Naono , T.Arakawa, Li. Youming:” Recent progress on development of sputtered PZT film at FUJIFILM” Applications of Ferroelectric, International Symposium on Integrated Functionalities and Piezoelectric Force Microscopy Workshop (ISAF/ISIF/PFM), 2015 Joint IEEE International Symposium, 24-27 May 2015 288 – 291.

 

学会/講演会

・STS学会 2015年:役に立つ科学に関して

精密工学会 2017講演会:藤井 隆満菱沼 慶一直野 崇幸新川 高見 高性能圧電体膜の開発とMEMS応用(キーノートスピーチ)」

2013422

JITAS スマートアクチュエータ/センサ委員会 講師 「高性能圧電体薄膜の開発とMEMS応用」

2013521

SEMI FORUM 講師 「高性能圧電体薄膜の開発とMEMS応用」

201373

JACI 次世代エレクトロニクス分科会 講師 「高性能圧電体薄膜の開発とMEMS応用」

201392

JASVA 圧電MEMS技術と応用製品事例 講師 「高性能圧電体膜の開発とMEMS応用」

20161021

京都大学 有機材料のリソグラフィー加工コンソーシアム 講師

「高性能圧電体薄膜の開発とMEMS応用」

2017727

マイクロマシンセンタ 医療MEMS研究会 講師 「高性能圧電体薄膜の開発とMEMS応用」

20166

(財)企業研究会 「新規事業を実現する技術経営のあり方」 最優秀論文賞受賞

20171030

徳山高専 製造業における人材育成に関する基礎研究会 講師 「商品化と差別化と人生戦略」

2018223

山口県IoT分科会 「技術を元に新規ビジネスへ~大企業じり貧の秘密と新規技術で勝つために~」

2018526

山梨県技術士会 研究会 講師 「技術を元にした新規ビジネスの立ち上げ」 ~大企業じり貧の秘密と新規技術で勝つために~

 

【特許関連】

特許出願(検索時) 合計:234件(成立73件)